研究設備
- MOCVD
- SEM+EDX+EBSD
- XRD
- X線トポグラフィ―測定装置装
- エリプソメータ
- FTIR
- ホール測定装置
- 原子層堆積装置
- スパッタ装置
- カーブトレーサー
- 高耐圧大電流用プロ―バ―
- 半導体パラメータアナライザ
- ナノインプリント
- PLマッピング装置
- 低温PLマッピング装置
- 走査型近接場稿顕微鏡
- 光容量測定装置
